光柵傳感器是如何進(jìn)行測(cè)距的

來源：驍銳科技瀏覽：- 發(fā)布日期：2023-05-11 15:23:57【大中小】

首先我們來看看，什么是光柵傳感器？

光柵傳感器是指利用光柵莫爾條紋原理來測(cè)量位移的傳感器。

光柵傳感器由四部分組成：直尺光柵、指示光柵、光路系統(tǒng)和測(cè)量系統(tǒng)。當(dāng)標(biāo)尺光柵相對(duì)于指示光柵移動(dòng)時(shí)，它會(huì)形成大致呈正弦曲線分布的明暗莫爾條紋。

這些條紋以光柵的相對(duì)速度移動(dòng)并直接照射在光電元件上。在其輸出端獲得一系列電脈沖。數(shù)字信號(hào)輸出通過放大、整形、方向識(shí)別和計(jì)數(shù)系統(tǒng)產(chǎn)生，直接顯示被測(cè)位移。

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光柵是由大量等寬等間距的平行狹縫組成的光學(xué)器件。常用的光柵是通過在玻璃板上雕刻大量平行刻線而制成的?？毯凼遣煌该鞯牟糠郑瑑蓚€(gè)刻痕之間的光滑部分可以透光，相當(dāng)于一條縫。精制的光柵在1cm寬度內(nèi)有數(shù)千甚至數(shù)萬個(gè)缺口。

這種利用透射光衍射的光柵稱為透射光柵，也有利用兩凹口之間反射光衍射的光柵。例如，在表面刻有許多平行的凹口并帶有金屬層，兩個(gè)凹口之間的光滑金屬表面可以反射光線，這種光柵就變成了反射光柵。光柵形成的莫爾條紋具有光學(xué)放大和平均誤差效應(yīng)，可以提高測(cè)量精度。

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